三坐標測量機的平衡機構
1.平衡機構的作用：垂直軸測量機的Z軸或水平臂測量機的水平臂及滑架組件，由于重力作用會下掉，必須有機構加以平衡，使它處于隨遇平衡狀態。
2.平衡機構的種類：
1）重錘平衡
2）氣動平衡
3）用電機與高減速比的減速器來平衡。

氣動平衡
1.氣動平衡的優點：重量輕，沒有大的晃動，對測量機精度影響??；
2.氣動平衡的缺點：必須細致地設計氣動平衡及保護機構，平衡機構必須靈敏，在各種狀態下迅速保持平衡，由于高加速度,啟動和仃止時氣缸中氣壓瞬時過壓和欠壓都會引起振動,因此必須用高靈敏度的精密調壓閥。

平衡機構的保護機構必須保證在任何情況下，主軸不會下墜，特別是突然通氣和斷氣的時候要防止Ｚ軸或水平臂的墜落，這一般由壓力開關、電磁閥等氣動元件來完成。
氣路系統必須滿足下述邏輯:
1.開氣 → 平衡氣缸通氣,Z向空氣軸承仍抱緊Z軸 → 空氣壓力超過平衡壓力并有一定安全值,Z向空氣軸承放開Z軸,氣缸在平衡壓力值保持平衡;
2.關氣或意外斷氣 →壓力下降到安全值,Z向空氣軸承抱緊Z軸,氣缸在平衡壓力值仍保持平衡 → 壓力下降到平衡壓力以下甚至到零, Z向空氣軸承抱緊Z軸。
要防止氣缸桿與Ｚ軸導軌不平行對Ｚ軸運動的干涉。

重錘平衡
1.重錘平衡的優點：構造簡單，其原理類似滑輪，一端為主軸，一端為平衡重量，構造可靠，除非連接鋼絲繩斷裂，一般不會出安全問題；
2.重錘平衡的缺點：加大了移動部分重量，當配重上升下降到不同位置時，會影響到測量機性能，特別是配重與導軌的間隙，影響運動的平穩性，因而影響精度。

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